脱氧机是采用压力低于24KPa的风机进行循环脱氧，再使用真空泵解析活化。这种降氧技术常常被人们误以为是VSA制氮机。因为脱氧机与VSA制氮机都采用了真空解析，但由于脱氧机动力源采用了压力更低、耗电量更小的风机，并且其取气方式不同于VSA制氮机，后者采用的是开放式取气而脱氧机采用了效率更高的半封闭取气模式，所以脱氧机并不等同于VSA制氮机。

　　目前使用较多的制氮机是一种在常温下进行氮氧分离的膜制氮系统。它由空压机和膜分离器组成。压缩空气经过过滤器进入膜分离器后，空气中的水蒸气、CO2及O2快速透过膜壁进入膜的另一侧被富集排空;氮气透过膜壁的相对速率慢而留在膜中，富集后的氮气被作为产品气送往使用地。

相对于制氮机的应用市场，脱氧机则更适用于500吨以上的大型气调库。欧美国家的气调库从2000年开始大量使用脱氧机，在大型气调库中逐步取代了膜制氮机、PSA和VSA制氮机。其中一个原因是从降氧的原理和过程来看，脱氧机比制氮机在能耗和能效上都更胜一筹，更符合未来的发展趋势。

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